真空泵是用于将低压气体排入高真空度的设备。为了让大家更好的了解真空泵的工作原理,我们来介绍下常见的两种真空泵。
1. 机械泵
机械泵是将气体抽到环状的吸气口内,通过转子和隔板的运动,将气体压缩并运往出口。由于机械泵是通过机械作用来排气,所以只能排除压力较低的气体,比如大气压以下的气体。
机械泵在工业生产中被广泛应用,如真空干燥、真空冷却、真空制取、真空充电等领域。
2. 分子泵
分子泵是采用分子排斥的原理来排气的。分子泵壳体内装有转子,转子上均匀地分布着大量的螺旋槽。空气分子在旋转中被排斥,由于分子运动量很大,所以可以排除高达10^-6Pa的高真空。
分子泵在半导体和真空薄膜技术等领域应用广泛。
机械泵和分子泵的工作原理都是将气体从低压转移到高真空度。但是由于其工作原理不同,所以适用范围也不同。