当下,光刻技术广泛运用于集成电路(IC)的制造中。那么,什么是光刻机呢?
光刻机作为半导体制造过程中不可或缺的一步,其可以将芯片上的图形、电路等微观结构通过光学显影的方式,迅速、高效地烙印在光刻胶片上。光刻机的核心在于曝光,相信大多数人都有过晒胶片的体验,光刻机的曝光技术同样类似,在曝光的时候光纤和掩膜会按照设定的图案和电路进行精准而快速的激光照射,以此来制造晶圆上的图案和电路,完成芯片的制造。
随着技术的不断提升,光刻机成为了集成电路制造行业中一项非常重要的具体应用技术。同时,其广泛应用于光电子、集成电子、微电子、液晶和MEMS等领域。
了解了什么是光刻机,您对其有了更深入的了解了吗?